@inproceedings{WildKaulHoll2015, author = {Dominik Wild and Peter Kaul and Gerhard Holl}, title = {Akustische und optische Echtzeit{\"u}berwachung von Bohrprozessen mit passiv-g{\"u}tegeschaltetem Nd:YAG Laser}, series = {12. Dresdner Sensor-Symposium, 07.-09.12.2015, Hotel Elbflorenz, Dresden}, publisher = {AMA Service GmbH}, address = {Wunstorf, Germany}, isbn = {978-3-9813484-9-1}, doi = {10.5162/12dss2015/P4.3}, pages = {175 -- 178}, year = {2015}, abstract = {In der vorliegenden Arbeit wird ein neuartiges Verfahren zur Echtzeit{\"u}berwachung von Laserbohrprozessen vorgestellt. Die Untersuchungen werden an unterschiedlichen Materialien unter Einsatz eines passiv-g{\"u}tegeschalteten Nd:YAG Lasers durchgef{\"u}hrt. Prozessbegleitend findet eine Aufzeichnung der akustischen Emissionen mit anschlie{\"s}ender Analyse durch schnelle Fourier-Transformation statt. Hierdurch lassen sich der Durchbruch beim Bohren durch ein Material sowie der Material{\"u}bergang mehrschichtiger Systeme detektieren. Die akustischen Messungen werden durchAuswertung der Pulsfolge des Lasers mittels einer Fotodiode gest{\"u}tzt. Hierbei zeigt sich eine gute {\"U}bereinstimmung der im akustischen Spektrum dominanten Frequenz mit der jeweils im Laserburstauftretenden Pulsfrequenz. Das vorgestellte Verfahren erm{\"o}glicht eine Echtzeit{\"u}berwachung beim Laserbohren mittels kosteng{\"u}nstiger und einfacher Hardware. Zudem zeichnet es sich im Gegensatz zu bestehenden Verfahren durch eine hohe Robustheit gegen {\"a}u{\"s}ere St{\"o}reinfl{\"u}sse aus, da eine frequenzbasierte Auswertung stattfindet.}, language = {de} }